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碳化硅密封件规格

以下介绍碳化硅密封件的部分性能规格:

材料特性 Norm Symbol/Unit F F plus T
密度 DIN EN 623-2 ρ [g/cm3] >3.10 >3.16 >3.21
孔隙度 DIN EN 623-2 P [%] <3.0 <1.0 <1.0
平均晶粒尺寸   [μm] <5 <5 <2
粒度分布   [μm]      
物相成分     α-SiC α-SiC α-SiC,
YAG
维氏硬度 DIN EN 843-4 HV 1 [GPa] 25.5 25.5 22.5
努氏硬度 DIN EN 843-4 HK 0.1 [GPa] 24.5 24.5 21.0
杨氏模量 DIN EN 843-2 E [GPa] 410 420 420
韦伯模量 DIN EN 843-5 m 10 15 15
抗弯强度,4-PT弯曲 DIN EN 843-1 σB [MPa] 400 510 550
耐压强度   σD [MPa] 2200 2200 2500
Poisson ratio   ν 0.17 0.17 0.16
断裂韧性 (SENB)   Klc [MPa·m0,5] 4 4 6
热膨胀系数 DIN EN 821-1        
20°C - 500°C   α [10-6/K] 4.1 4.1 3.5
500°C - 1000°C   α [10-6/K] 5.2 5.2 5.2
20°C时的比热容 DIN EN 821-3 cp [J/g K] 0.6 0.6 0.6
20°C时的热导率
DIN EN 821-2 λ [W/mK] 125 125 75
热应力 参数 calculated        
R1 = σB·(1-ν) / (α·E)   R1 [K] 198 246 314
R2 = R1·λ   R2 [W/mm] 25 31 24
20℃下的电阻率 DIN EN 50359 ρ [Ω cm] 106-108 106-108 102-103


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